02. Juli 2012

Oberkochen: 4.561.571 Euro für Carl Zeiss GmbH

Kiesewetter: Regionale Spitzenforschung ergänzt neuzeitlichen „Tüftler und Denkergeist”

Kiesewetter: Regionale Spitzenforschung ergänzt neuzeitlichen „Tüftler und Denkergeist”Neben dem Mutterkonzern gehört auch die Carl Zeiss GmbH schon längst zur internationalen Spitzenliga unserer einheimischen Forscher-Elite. Die neuzeitlichen „Tüftler & Denker” von Carl Zeiss erhalten vom Bundesministerium für Bildung und Forschung insgesamt 4.561.571 Euro zur Weiterentwicklung komplexer Optiksysteme für lithographische Feinstrukturierungsanlagen.

Der Bundestagsabgeordnete für Aalen und Heidenheim Roderich Kiesewetter erhielt den Bescheid am vergangenen späten Freitagnachmittag zugestellt, bevor er zur Debatte zum ESM und Fiskalpaket ging. „Deutschland befindet sich wirtschaftlich und technologisch immer noch auf einem sehr hohen europäischen Niveau. Das muss so bleiben! Bei allen Maßnahmen, die unser Land zur Rettung von Teilen Europas ergreift, wird gleichermaßen die nachhaltige Stärkung, Förderung und die Zukunft unseres immateriellen und materiellen Wohlstandes nicht vernachlässigt und von der Bundesregierung sehr ernst genommen”, so Kiesewetter.

Hintergrund: Zur weiteren Miniaturisierung elektronischer Schaltkreise werden Feinstrukturierungsanlagen benötigt. Diese nutzen für die Strukturübertragung Strahlung mit einer Wellenlänge von 13,5 nm (Nanometer), sogenanntes extrem ultraviolettes Licht (EUV). Um das anspruchsvolle Ziel, eine nutzbare Auflösung von 14 nm zu erreichen, sind Forschungsarbeiten auf den Gebieten der optischen Messtechnik sowie der Feinwerk- und Mikrokühltechnik erforderlich. Neue Verfahren müssen für die Oberflächenbearbeitungs- und Schichtabscheidungsprozesse der Objektivspiegel bereitgestellt werden.

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